먹튀 링크 장비, ATV 장비
유기 EL 조명 및 기능성 필름 형성을 위한 다양한 증착 장비 및 관련 장비를 제공합니다 필름, 유리, 웨이퍼 등 다양한 기재와 호환 가능하여 실험기계부터 양산기계까지, 클러스터형부터 롤투롤형까지 다양한 요구에 대응 가능합니다
또한 필름을 대기에서 먹튀 링크으로 지속적으로 운반하는 ATV(공기 대 먹튀 링크) 장비도 있습니다
주요 서비스 및 제품
평면 증발원
특징
노즐 배열을 최적화하고 밸브 제어를 통해 증착 속도를 안정화함으로써 정적 막 형성에도 불구하고 높은 면내 균일성과 높은 재료 활용 효율성을 달성합니다또한 최대 3개의 소스를 사용하고 그라데이션 필름을 증발시켜 공동 증발을 수행할 수도 있습니다
- <주요 사양>
- 최대 보드 크기 G6 보드(1,500×1,850mm)
- 막 두께 균일성 ≤±3% (±2%도 가능)
- 최대 연속 작동 온도 400℃
- 최대 설치 소스 수: 3 소스(공증발 가능)
- 기상증착율 측정 QCM, 압력식 속도 센서
- 증발율 제어 도가니 온도 및 증발 밸브 개방에 의한 제어
- 먹튀 링크 챔버 외부에 배치된 도가니 위치
- 재료 충전: 챔버를 대기에 노출시키지 않고 증발 재료를 교체할 수 있습니다
- <실제예>
- 클러스터형 유기 EL 조명용 유기막 증착원
노즐형 선형 소스
특징
표면증발원 개발을 통해 축적된 기술을 바탕으로 본 제품을 상용화하였습니다 디자인 자유도가 높고, 증착 방향을 선택할 수 있습니다 액체 재료에 대한 용매 제거 메커니즘을 추가할 수도 있습니다
- <주요 사양>
- 최대 보드 폭 2,000mm
- 폭 방향 필름 두께 균일성 ≤±3%
- 최대 연속 작동 온도 400℃
- 최대 설치 소스 수: 3 소스(공증발 가능)
- 기상증착율 측정 QCM, 압력식 속도 센서
- 증발율 제어 도가니 온도 및 증발 밸브 개방에 의한 제어
- 먹튀 링크실 외부에 위치한 오이 위치
- 재료 충전 도가니 재료 전환 메커니즘(선택 사항)
- <실제예>
- 인라인 장비용 증발원
- 롤투롤 필름 증착용 증발원
손상 없는 EB 증발원
특징
이것은 유기 장치의 유기 필름에 금속 및 무기 재료를 증착하기 위한 증발원입니다 낮은 X선 조사량, 독특한 후방 산란 전자 트랩 메커니즘 및 절연 도가니를 채택하여 저온 및 고속에서 성막이 가능합니다 기존의 저항가열과 동일한 수준의 소자특성을 얻을 수 있습니다또한 자동 재료 공급 메커니즘과 결합하여 100시간 동안 연속 성막을 수행할 수 있습니다
- <실제 예>
- 클러스터형 유기 EL 소자용 금속막 증착원
- 롤투롤 필름 증착용 증발원
회전 음극
특징
높은 재료 활용 효율로 타겟 교체 빈도를 줄이고, 높은 냉각 효과로 고속 필름 형성이 가능합니다
- 먹튀 링크씰 강화로 수명 연장(1→5년)
- 고속 스퍼터링에 필요한 냉각수 대유량(100ℓ/min) 구현
- 엔드 블록은 자체 설계되었으며 자석도 자체 설계 및 측정되었습니다
- <실제 사례>
- 롤투롤 필름 증착용 음극
ATV(공기-먹튀 링크) 장치
특징
독특하게 개발된 ATV 메커니즘은 대기에서 먹튀 링크으로 필름의 지속적인 이동을 실현합니다 (다른 먹튀 링크 영역의 차압 제어에도 사용할 수 있습니다) 이 메커니즘은 먹튀 링크 장치의 높은 가동률을 유지하고 생산성 향상에 크게 기여합니다
| 디자인 사양(별도 협의) | 실험 기계 사양 | |
|---|---|---|
| 이동 속도웹 속도 | MAX 30m/min | 05~10m/분 |
| 필름 너비필름 너비 | MAX 2,000mm | 300~500mm |
| 모재 두께필름 두께 | MAX 200μm | 25μm~200μm |
관련 기술
다양한 비즈니스 문의는 여기를 클릭하세요