공장 자동화 / 필름 제조 장비 / 정밀 주조 제품

먹튀 검증 장비 및 ATV 장비

Kanadvia는 유기 EL 조명 및 기능성 필름 형성을 위한 다양한 증착 장비 및 관련 장비를 제공합니다 필름, 유리, 웨이퍼 등 다양한 기재를 지원합니다 클러스터형부터 롤투롤형, 실험기부터 양산기까지 다양한 요구에도 대응하고 있습니다

또한 필름을 대기 환경에서 먹튀 검증 환경으로 연속적으로 운반할 수 있는 ATV(공기 대 먹튀 검증) 장비도 보유하고 있습니다

주요 제품

표면 증발원

특징

최적의 노즐 배열 및 밸브 제어를 통해 증착 속도가 안정화됩니다 이는 정전막 형성에도 불구하고 높은 면내 균일성과 재료의 고효율 활용을 달성합니다
또한, 최대 3개의 소스에 대한 공증착 및 경사막 증착이 가능합니다

<주요 사양>
- 최대 베이스 크기: G6 베이스(1,500×1,850mm)
- 균일한 필름 두께 ≤ ± 3% (± 2%도 가능)
- 연속 최대 사용 온도: 400℃
- 최대 설치 소스 수: 3개 소스(공증착 지원)
- 증착율 측정 QCM, 압력율 센서
- 증착 속도 제어: 도가니 온도 및 증착 밸브 개방에 따라 제어
- 도가니 위치: 먹튀 검증 챔버 외부에 위치
- 재료 충전: 챔버를 대기에 노출시키지 않고 증착 재료를 교체할 수 있습니다

<실용예>
- 클러스터형 유기 EL 조명용 유기막 증발원

노즐 선형 소스

특징

Kanadvia는 표면 증발원 개발을 통해 축적된 기술을 바탕으로 상용화를 달성했습니다 디자인 자유도가 높고 증착 방향에 제한이 없습니다 액체 물질의 용제 제거 기능도 추가할 수 있습니다

<주요 사양>
- 최대 베이스 너비: 2,000mm
- 폭 방향의 필름 두께 균일성: ≤ ± 3%
- 연속 최대 사용 온도: 400℃
- 최대 설치 소스 수: 3개 소스(공증착 지원)
- 증착율 측정 QCM, 압력율 센서
- 증착 속도 제어: 도가니 온도 및 증착 밸브 개방에 따라 제어
- 도가니 위치: 먹튀 검증 챔버 외부에 위치
- 재료 충전: 도가니 재료 전환 메커니즘(선택 사항)

<실용 사례>
- 인라인 장비용 증발원
- 롤투롤 필름 필름 형성용 증발원

손상 없는 EB 증발원

특징

이 증발원은 유기 소자의 유기 필름에 금속 재료와 무기 재료를 형성합니다 이 장비는 낮은 X선 선량과 독점적인 후방 산란 전자 트랩을 사용합니다 도가니의 단열로 인해 저주파에서 고속 성막이 가능합니다 이에 따라 기존의 저항가열에 필적하는 소자특성을 얻을 수 있게 되었습니다
또한 재료 자동 공급 장치를 결합하여 100시간 동안 연속 성막을 실현하는 장비입니다